產(chǎn)品分類
聯(lián)系我們
當前位置:產(chǎn)品中心
>> 科研實驗 >> 材料性質(zhì)測定
薄膜測試儀 功能薄膜特性測試儀
 |
薄膜測試儀 功能薄膜特性測試儀
產(chǎn)品型號：DHFC-1
產(chǎn)品編號：TC-004307
|
產(chǎn)品介紹
技術(shù)文檔
相關(guān)產(chǎn)品
如何購買
薄膜測試儀 功能薄膜特性測試儀 型號：DHFC-1
儀器由四探針測試儀和薄膜電導(dǎo)率測量儀兩部分組成。具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測量范圍寬、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。
四探針測試儀由主機、測試架等部分組成�？梢詼y量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）、功能材料暗電導(dǎo)和光電導(dǎo)及溫度的變化的特性，還可以對金屬導(dǎo)體的低、中值電阻進行測量。測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準確、游移率小、壽命長。
薄膜電導(dǎo)率測量儀由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、高阻測量系統(tǒng)等部分組成。
◆ 測量范圍：電阻測量范圍：1×106～1×1017Ω；
電阻率：0.001～200Ωcm；
電導(dǎo)率：0.005～1000s/cm；
◆ 可測晶片直徑： 200mmX200mm；
◆ 探針：碳化鎢或高速鋼；探針間距：1±0.01mm；
◆ 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
◆ 本底真空度：≤10Pa，氣壓可控范圍：10～400Pa；
◆ 襯底加熱 溫度：室溫～200℃。
儀器由四探針測試儀和薄膜電導(dǎo)率測量儀兩部分組成。具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測量范圍寬、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點。儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。
四探針測試儀由主機、測試架等部分組成�？梢詼y量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）、功能材料暗電導(dǎo)和光電導(dǎo)及溫度的變化的特性，還可以對金屬導(dǎo)體的低、中值電阻進行測量。測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準確、游移率小、壽命長。
薄膜電導(dǎo)率測量儀由樣品室、溫控系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、高阻測量系統(tǒng)等部分組成。
◆ 測量范圍：電阻測量范圍：1×106～1×1017Ω；
電阻率：0.001～200Ωcm；
電導(dǎo)率：0.005～1000s/cm；
◆ 可測晶片直徑： 200mmX200mm；
◆ 探針：碳化鎢或高速鋼；探針間距：1±0.01mm；
◆ 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
◆ 本底真空度：≤10Pa，氣壓可控范圍：10～400Pa；
◆ 襯底加熱 溫度：室溫～200℃。
傳 真：010-68467699 郵箱：tdcy17@126.com 地址：北京市通州區(qū)興貿(mào)三街18號院
版權(quán)所有：北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司
京ICP備11038408號-1