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四探針電阻率/方阻測(cè)試儀
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四探針電阻率/方阻測(cè)試儀
產(chǎn)品型號(hào)：KDY-1
產(chǎn)品編號(hào)：TC-004608
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產(chǎn)品介紹
技術(shù)文檔
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1、概述
KDY-1型四探針電阻率/方阻測(cè)試儀（以下簡(jiǎn)稱電阻率測(cè)試儀）是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)）、測(cè)試架及四探針頭組成。
本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬(wàn)分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化，免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān)，在測(cè)量某些薄層材料時(shí)，可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)可加配KDY測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算出硅片電阻率、徑向電阻率的最大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測(cè)量帶來(lái)很大方便。
2、主機(jī)技術(shù)能數(shù)
（1）測(cè)量范圍：
可測(cè)電阻率：0.0001～19000Ω·cm
可測(cè)方塊電阻：0.001～190000Ω/□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA、0.01～0.10mA、0.10～1.0mA、1.0～10mA、10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測(cè)量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸入阻抗：≥1000MΩ
（4）測(cè)量精度：電器精度：1－1000歐姆≤0.3%
整機(jī)測(cè)量精度：1－1000歐姆·厘米≤3%
（5）供電電源：
AC220V±10% 50/60Hz 功率：12W
（6）使用環(huán)境：溫度：23±2℃ 相對(duì)濕度：≤65%
無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾，電源隔離濾波，無(wú)強(qiáng)光直接照射
（7）重量、體積：
主機(jī)重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長(zhǎng)度×寬度×高度）
該儀器可選配KDY四探針測(cè)試系統(tǒng)連接計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行測(cè)量，測(cè)試結(jié)果更加精確、簡(jiǎn)便，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存，可進(jìn)行導(dǎo)出excel等操作，便于保存數(shù)據(jù)。
KDY-1型四探針電阻率/方阻測(cè)試儀（以下簡(jiǎn)稱電阻率測(cè)試儀）是用來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份（簡(jiǎn)稱：主機(jī)）、測(cè)試架及四探針頭組成。
本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測(cè)量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬(wàn)分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測(cè)全程的電流變化，免除了測(cè)量電流/測(cè)量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時(shí)掌控測(cè)量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測(cè)量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開(kāi)關(guān)，在測(cè)量某些薄層材料時(shí)，可免除探針尖與被測(cè)材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測(cè)量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)可加配KDY測(cè)量系統(tǒng)，測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算出硅片電阻率、徑向電阻率的最大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測(cè)量帶來(lái)很大方便。
2、主機(jī)技術(shù)能數(shù)
（1）測(cè)量范圍：
可測(cè)電阻率：0.0001～19000Ω·cm
可測(cè)方塊電阻：0.001～190000Ω/□
（2）恒流源：
輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程：0.001～0.01mA、0.01～0.10mA、0.10～1.0mA、1.0～10mA、10～100mA
恒流精度：各檔均低于±0.05%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測(cè)量范圍：0～199.99mV
靈敏度：10μV
基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
輸入阻抗：≥1000MΩ
（4）測(cè)量精度：電器精度：1－1000歐姆≤0.3%
整機(jī)測(cè)量精度：1－1000歐姆·厘米≤3%
（5）供電電源：
AC220V±10% 50/60Hz 功率：12W
（6）使用環(huán)境：溫度：23±2℃ 相對(duì)濕度：≤65%
無(wú)較強(qiáng)的電場(chǎng)干擾，電源隔離濾波，無(wú)強(qiáng)光直接照射
（7）重量、體積：
主機(jī)重量：7.5kg
體積：365×380×160（單位：mm 長(zhǎng)度×寬度×高度）
該儀器可選配KDY四探針測(cè)試系統(tǒng)連接計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行測(cè)量，測(cè)試結(jié)果更加精確、簡(jiǎn)便，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存，可進(jìn)行導(dǎo)出excel等操作，便于保存數(shù)據(jù)。
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