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毛細(xì)管流量測試儀 毛細(xì)管流量儀   型號(hào)：TD-D60-1

用于測量毛細(xì)管或其它小孔零件的流通能力。

流量測量范圍：±1% F.S.（100SCCM~10SLM N2）
±2% F.S.（20SLM~250SLM N2）

壓力測量范圍：0~0.4, 0~1, 0~1.6 MPa

壓力測量精度：0.25，0.4級(jí)

系統(tǒng)單點(diǎn)漏率：1×10^-7SCCS He

供電電源：~220VAC±10%

Z大功耗：15 W

外形尺寸：440×260×260mm

重量：8 Kg

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